Skip to Main Content
  • Suomi 
  • English 
  • Linde
  • Meistä
  • Urapolku
  • Ladattavat aineistot
  • Kirjaudu | Rekisteröidy
  • Linde, Making our world more productive Linde, Making our world more productive
  • Teollisuuskaasut
    Suomi

  • Tilaa Tili Ostoskori
  • Home
  • Koti
  • Verkkokauppa
      • Kaasut
      • Tarvikkeet
      • Nestekaasu
      • Erikoiskaasut
      • Toimitus
  • Teollisuudenalat
      • Autoteollisuus
      • Avaruus- ja puolustustekniikka
      • Elektroniikka
        • LED Solid State Lighting
        • Photovoltaics
        • Crystalline Silicon Photovoltaics
        • Thin-Film Silicon Photovoltaics
        • Semiconductors
        • Materials & Technologies for Semiconductors
        • TFT-LCD
        • Wafer & Polysilicon
      • Elintarviketeollisuuden kaasuratkaisut
        • Juomat
        • Meijerituotteet
        • Leipomotuotteet ja kuivat elintarvikkeet
        • Hedelmät ja vihannekset
        • Kala ja äyriäiset
        • Liha (nauta, porsas, siipikarja)
        • Rasvat ja öljyt
        • Valmisruoat
        • Kasvihuoneviljely
        • Jakelu
      • Energia
        • Biomassa ja biopolttoaineet
        • Tuulienergia
      • Kalankasvatus
      • Kemikaalit
        • Hieno- ja erikoiskemikaalit
        • Perus- ja petrokemikaalit
      • Konepajateollisuus
        • Hiilidioksidin talteenotto ja varastointi
      • Kuljetus & logistiikka
      • Plastics & Rubber
      • Laboratoriot
      • Laivanrakennus
      • Lasin valmistus
      • Lääke- ja biotekniikka
      • Metalliteollisuus
        • Alumiini
        • Valimoteollisuus
        • Lämpökäsittely
        • Terästeollisuus
      • Offshore
        • Offshore yhteystiedot
      • Rakentaminen
        • Rakennustyömaiden nestekaasulämmitys
      • Ravintolat ja baarit
      • Sellu- ja paperiteollisuus
      • Terveydenhuolto
      • Vedenkäsittely
        • Aerobic wastewater treatment with oxygen
        • Neutralisation and remineralisation with carbon dioxide
        • Pure oxygen for efficient ozone generation
        • Services and customer support
      • Ympäristö
  • Prosessit
      • Analyysit ja instrumentointi
        • Jäljitettävyys
      • Hitsaus
        • Kaasuhitsaus
        • Kehittyneet hitsausratkaisut
        • Plasmahitsaus
        • TIG-hitsaus
        • MIG-juotto
        • Laserhitsaus
        • MIG-/MAG-hitsaus
      • Inertointi
        • Typpipatjakäsittely elintarviketeollisuudessa
        • Suojakaasupatja kemian teollisuudelle
        • Kuohkeutus
        • Kaasuhuuhtelu elintarviketeollisuudessa
        • Puhdistus kemianteollisuudelle
        • Kuplitus elintarviketeollisuudessa
        • Kuplitus kemianteollisuudelle
        • Sekoitus
        • Erotus
      • Jäähdytys
      • Pakastaminen ja jäähdytys
        • Kryogeeninen kondensaatio
        • Kuonan jäähdytys
        • Elintarvikkeiden jäähdytys ja pakastus
        • Maaperän jäädytys
        • Kylmäkuljetukset ja kylmäkontit
        • Jäähdytys metallien valmistuksessa
        • Terminen ruiskutus
        • Nopea jäähdytys
        • Kryogeeninen purseenpoisto
        • Kutistussovitus
        • Betonin jäähdytys
      • Kaasukeskukset ja asennukset
        • Kaasukeskusjärjestelmät
      • Kalankasvatus
        • Vesiviljelyn ja vedenkäsittelyn innovaatiokeskus
        • SOLVOX CV
        • SOLVOX Stream
        • SOLVOX OXYSTREAM
      • Kryogeeninen säilytys
      • Leikkaukseen & hitsaukseen liittyvät prosessit
        • Juottaminen
        • Liekkikuumennus
        • Kaasutalttaus
        • Terminen ruiskutus
        • Liekkioikaisu
        • Liekkipuhdistus
      • Leikkaus
        • Polttoleikkaus, kaasuleikkaus ja -välineet
        • Laserleikkaus ja metalli
        • Plasmaleikkaus
      • Lämpökäsittely
      • Lääke- ja biotekniikka
      • Muunnetut ilmakehät
        • Hiilihapotus
        • Kaasutainnutus
        • Hiilidioksidilannoitus
        • Nestemäisen typen annostelu
        • Suojakaasupakkaaminen
        • Hapetus kalankasvatuksessa
      • Petrokemian prosessit ja jalostus
        • Vetysovellukset jalostamoissa
        • Happirikastus Claus-laitoksissa
        • Happirikastus FCC-yksiköissä
        • Epätäydellinen hapettaminen
      • Prosessikemia
        • Asetyleeni kemiallisissa synteeseissä
        • Öljyn ja rasvan hydratointi
        • Sekoitus
        • Kaasu–nestereaktiot
        • Reaktorin ja prosessin jäähdytys
        • Epäyhtenäiset hapettamiset
        • pH:n säätö
      • Puhdistus, kiillotus ja hiominen
        • Kryopuhdistus
        • Kryogeeninen hionta
      • Puristusmuovaus, solustus, muovaus & suulakepuristus
        • Renkaiden vulkanointi
        • Solustus suulakepuristuksessa
        • Sisäinen jäähdytys suulakepuristuksessa
        • Ruiskuvalu
        • Puhallusmuovaus
      • Sellun- ja paperinvalmistus
        • Paperinvalmistusprosessin tehokkuus
        • Sellunvalmistusprosessin tehokkuus
      • Sulatus ja kuumennus
        • Kuumennusuunit
        • Alumiinin sulatus
        • Senkan kuumennus
        • Kuumennus metallien valmistuksessa
        • Lasin muokkaus ja prosessointi
        • Lasin sulatus
      • Vedenkäsittely
        • Jäteveden puhdistus
        • Veden pH:n säätö
  • Kaasut ja laitteistot
      • Biokaasu
      • Elektroniikkakaasut ja -kemikaalit
      • Elintarvikekaasut
        • BIOGON C
        • BIOGON N
        • BIOGON O
      • Elintarvikkeiden pakastaminen
        • CRYOLINE-tuoteryhmä
        • CRYOLINE CF
        • CRYOLINE CS
        • CRYOLINE CW
        • CRYOLINE MT
        • CRYOLINE PE
        • CRYOLINE SC
        • CRYOLINE SI
        • CRYOLINE TI
        • CRYOLINE XF
        • Kryogeeniset pakastimet ja säiliöt
      • Erikoiskaasut ja -laitteet
      • GENIE-kaasupullo
        • Miksi vaihtaa GENIE-kaasupulloon?
        • GENIE ViPR -kaasupullo
        • GENIE-lisävarusteet
        • GENIE-videot
        • Tilaa GENIE
      • Helium
        • Helium ilmapallot, kaasupullot ja turvallisuusohjeet
      • Hitsauskaasut
        • Polttokaasut
        • Laserkaasut
        • Plasmakaasut
        • Suojakaasut
        • ODOROX hajuhappi
      • Hitsaustarvikkeet
        • SMOOTHFLO säätimet
        • X11 PRO sarjat
        • X21 PRO
      • Ilmakehän kaasut
      • Kaasuasennukset
      • Kaasuilmaisin
      • Kaasukeskusjärjestelmät
        • Kaasukeskukset ja asennukset
      • Kalankasvatus
      • Kuivajää eli hiilihappojää
        • Turvaohjeet kuivajään käsittelyyn
      • Kuluttajatuotteet
      • Kylmäaineet
        • Luonnolliset kylmäaineet
        • HFC-kylmäaineet ja kaasut
        • HFO-kaasut
        • MAC - moottoriajoneuvojen ilmastointi
        • F-kaasudirektiivi
        • Kylmäaineet kuljetusten jäähdytykseen
      • Lääkkeelliset kaasut
      • LINDOFLAMM-erikoispolttimet
      • Lääkkeet
      • Nestekaasu
        • Nestekaasutietoa
      • Nesteytetyt kaasut
        • Argon
        • Hiilidioksidi
        • Typpi ja typpikaasu
        • Happi
      • Pakatut kemikaalit
      • Sairaalalaitteet
      • Suunnittelu ja toteutus
      • Toimitustavat
        • Kaasupullot
        • Toimitus nesteenä
        • Putkitoimitukset
      • Vety
      • Yleistä kaasuista
        • Properties of Hydrogen
        • Solutions of Hydrogen
  • Palvelut
      • Tehokas hallinnointi
        • Kaasupalvelut
        • Yksilöpulloseuranta
      • Prosessiosaaminen
        • Palvelut teollisuudelle
        • Leikkaus, hitsaus ja kuumennus
        • Lämpökäsittelyprosessit
      • Turvallisuus & laatu
        • Kaasutodistukset ja -analyysipalvelut
        • Kunnonvalvonta
        • Turvallisuuskoulutus
        • Suunnittelupalvelut
        • Turvallisuustarkastukset
      • Toimitusvarmuus
        • Automaattinen toimituspalvelu
        • Hätä- ja pikatoimitukset
  • Turvallisuus ja terveys
      • Turvallisuus, terveys, ympäristö ja laatu sekä sertifikaatit
      • Käyttöturvallisuustiedotteet
      • Eettinen säännöstö
      • Ympäristö ja energia
      • Kaasupullojen turvallinen käsittely
        • Kaasupullojen käsittely
        • Kaasupullojen tunnistaminen ja värit
        • Kaasukeskusten asentaminen
        • Kaasupullojen varastointi ja säilytys
        • Kaasupullojen kuljetus
        • Asetyleenin turvallinen kuljetus ja käsittely
      • Kryogeenisten nesteiden turvaohjeet
      • Kaasulaitteiden turvallisuus
        • Kaasulaitteisiin liittyviä neuvoja
      • Turvallisuuden parantaminen
        • Turvallisuuskoulutus
      • Kaasujen käyttöön liittyvät riskit
        • Palavat kaasut
        • Tukahduttavat kaasut
        • Happi, nestemäinen happi ja happikaasu
      • REACH
      • EIGA
  • Asiakaspalvelu
      • Asiakastilin avaaminen
      • Linde online shop
      • PartnerNet
      • Myyntipistehaku
      • ACCURA
      • Vuokrat ja yleiset ehdot
        • Vuokrasopimukset
        • Kaasupullojen vuokraus
      • Hätätilanteet
      • Yhteystiedot
      • Tilaaminen
      • Nestekaasun tilausasiakkaat
      • Ota käyttöön sähköinen laskutus
      • Kuljetukset
      • Usein kysyttyä
      • SAP Ariba Network
        • Ariba Training Material
        • FAQ Ariba
  • Uutiset & media
      • Uutiset
      • Linde Stories
      • Työkalut
        • Kemikaalit A-Ö
      • Asiakaskokemuksia
        • Finnair
        • Husqvarna
        • Suomen Punaisen Ristin Veripalvelu
        • Maakaasua ympäristön hyväksi
        • Octapharma
        • Flawless Welding
        • Oilon Scancool Oy
        • SAS
        • ASM Foods
        • Carelian Caviar
        • VTT
        • Naoi Group
        • Drammen kjøkken KF
        • Skanska
        • Vikentomater
        • Vahterus Oy
        • Seniori Ateria Oy
        • Sigerfjord Fisk
        • Sastamalan Ruoka- ja Puhtauspalvelut Oy Servi
        • Fifax
  • Myyntipistehaku
  •  
  • Language
    • Suomi
    • English
  • Linde
  • Meistä
  • Urapolku
  • Ladattavat aineistot
  • Kirjaudu | Rekisteröidy
  • Teollisuudenalat
  • Autoteollisuus
  • Avaruus- ja puolustustekniikka
  • Elektroniikka
    • LED Solid State Lighting
    • Photovoltaics
    • Crystalline Silicon Photovoltaics
    • Thin-Film Silicon Photovoltaics
    • Semiconductors
    • Materials & Technologies for Semiconductors
    • TFT-LCD
    • Wafer & Polysilicon
  • Elintarviketeollisuuden kaasuratkaisut
  • Energia
  • Kalankasvatus
  • Kemikaalit
  • Konepajateollisuus
  • Kuljetus & logistiikka
  • Plastics & Rubber
  • Laboratoriot
  • Laivanrakennus
  • Lasin valmistus
  • Lääke- ja biotekniikka
  • Metalliteollisuus
  • Offshore
  • Rakentaminen
  • Ravintolat ja baarit
  • Sellu- ja paperiteollisuus
  • Terveydenhuolto
  • Vedenkäsittely
  • Ympäristö
  • Teollisuudenalat
  • Elektroniikka
  • Materials & Technologies for Semiconductors
A semi-automatic manifold for optimum safety. The manifold is specially designed for commercial
kitchens and laboratories with a large number of points of consumption or long pipelines.

Materials & Technologies for Semiconductors

Combining high-purity gases and chemicals with a global reach and innovative technology for the best possible customer experience.

Drawing on decades of experience in primary materials, we develop unique value-added capabilities for semiconductor manufacturing through our global Centre of Excellence network.

New materials and corrosive gas technology

Aligned with the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), past and recent developments at our San Marcos (US) facility include ultra-pure tungsten hexafluoride (WF6) and novel precursors for high-k ALD processes. 

Rare and halogen gases
 
Enabling developments in deep ultraviolet (DUV) lithography, our Alpha (US) plant has pioneered high-purity halogen gas mixtures for 248nm and 193nm excimer lasers. Additional areas of expertise include xenon recycling and isotopically enriched gases and chemicals.

Fluorine technology for clean chamber cleaning

Our Inju ( Korea) facility is pioneering the latest generation of low-cost, modular fluorine generators. This zero-carbon technology is growing in importance as the industry faces increasingly stringent environmental legislation.

We are also involved in joint development programmes with major customers, OEMs, academic bodies and industry consortia.

Full spectrum

We offer the full range of gases to support all semiconductor manufacturing processes:
  • Ultra-pure bulk gases 

  • On-Site gas generators 

  • Electronic special gases in cylinder and bulk supply.

Bulk Gases Electronic Special Gases
Nitrogen Silicon source gases
Hydrogen Nitride / oxide growth
Argon Doping and implants
Oxygen Metal and dielectric etch

 

AUECC, a Linde Group company, specialises in the manufacture and distribution of ultra-pure wet chemicals for the global microelectronics industry.  

Systems and service expertise
 
In addition, we offer a wide range of professional services to allow you to focus on your core business and keep operations up and running. These extend from turnkey design and installation services to end-to-end management of your gas systems and include:
  • Bulk gas storage and distribution systems 

  • Bulk special gas systems (BSGS) 

  • Gas cabinets and gas distribution manifolds 

  • Total gas & chemical management.  

Kysymyksiä? Ota yhteyttä meihin

Tilaa verkossa
Soita 010 242 9001
Lähetä sähköposti
Löydä lähin jälleenmyyjä
Lisätietoa
Water drop

Lue lisää

Return to:
  • LED solid state lighting
  • Photovoltaics
  • Semiconductors
  • TFT-LCD
  • Wafers and polysilicon
  • Bulk Gases
  • Electronic Special Gases
  • On-Site Gas Generation
  • Gas Systems and Equipment
  • On-Site Services
    • Facebook Social Media icon
    • LinkedIn Social Media icon
    • YouTube Social Media icon
    • Instagram_Social_Media_icon
    • Sivukartta
    • Käyttöehdot
    • Oikeudelliset tiedot
    • Tietosuoja
    • Säännöt
    • Oiva-raportti
    • Linden evästekäytäntö
    • Evästeasetukset
  • © Linde 2021